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圖解半導體製造裝置

作者:	賴金雅春
書城編號:	142062

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出版社:	世茂
出版日期:	2008/09/26
頁數:	192
ISBN:	9789577769404

商品簡介

本書針對製造半導體的主要裝置詳盡解說。不僅介紹半導體所有製程及與各使用裝置的關係，並深入解析這些裝置的構造、動作原理及性能，輔以圖解進行細部分析，建立系統化知識。
你我日常生活離不開的電腦、手機等電子產品，它們具備的智慧型弁酯n靠半導體才得以完成，因此半導體是資訊化社會不可或缺的核心要素。本書即針對半導體如何製造的具體內容來說明，從實踐的觀點專業分析半導體製造的整體架構，著重在半導體的所有製程與具代表性製造裝置。

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