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真空技術精華

作者:	蘇青森
書城編號:	172179

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出版社:	五南
出版日期:	2005/10/01
頁數:	260
ISBN:	9789571134789

商品簡介

本書分為七章，內容由淺入深包括重要的氣體理論、應用真空的基本原理、真空中氣體的性質及真空中的氣流形態、真空範圍的區分、真空技術應用的範圍等。抽真空的方法有各類幫浦的介紹包括原理、構造、操作及應用等。真空量測包含介紹各類真空計及其校正、真空的基本量，如抽氣速率、氣流通量及氣導的測定、真空系統計算包括管路氣導、薄壁上孔道的氣導、有效抽氣速率、抽氣速率損失、氣體分子的平均自由動徑、氣體分子撞擊率及單分子層附著時間等的計算。真空系統的測漏包括測漏儀、找漏孔及堵漏、真空系統的污染包括防止及消除污染的方法、系統烘烤對真空度的影響。此外並介紹常用的真空製程、高科技真空製程及鍍膜技術。
　　本書可使入門者循序漸進的學習，亦可作為熟悉真空科技者有系統復習的參考資料。本書可供真空技術課程的用書，及從事與真空相關的科技人員的參考書。

蘇青森作者作品表

真空技術精華

儀器學

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